半导体晶圆搬运机械手设计案例

案例：半导体晶圆搬运机械手

需求：精度±0.0015°，节拍7200次/小时，节拍以及精度稳定

涉及内容：

电机选型

减速机选型

轴承选型

交叉辊子导轨选型

直线导轨选型

结构设计