半导体拓晶台

案例：半导体拓晶台

结构设计，电机选型

多动作联动的半导体机构设计

需求：升降旋转精度：±0.01mm，旋转速度2πrad/s

涉及内容：

同步轮选型

伺服电机选型

轴承选型

同步带张紧机构设计