半导体固晶机摆臂机构：摆臂设计

视频介绍

本课继续半导体固晶机摆臂机构，重点设计摆臂本体。先按固定座和头部尺寸确定臂宽，与固定座用重合、平行配合定位，侧面打孔固定。臂身做三角形镂空减重，按阵列切除并完全贯穿;镂空后中部加包覆特征做厚支撑筋，提高刚度。边缘倒圆角，避免锐边和应力集中;课程强调这类减重臂不能只凭感觉，要做有效分析，校核弯曲和扭转刚度。最后检查与固定座、升降机构的运动干涉，为摆臂头部和滑动轴承座连接做准备。